微機電系統是目前科技界公認最具未來發展潛力及前瞻的研究領域之一。在這個新興的領域內，其基本的技術背景與應用層面跨足物理、化學、機械、材料、醫學…等。微機電系統的發展最早目標在於將電子電路的微小化，如今各式各樣微小的電子產品已進入了我們的生活。現在科技研發人員又企圖改善傳統加工技術及應用半導體製程技術，來製造微小的元件，試圖將各式機械元件微小化，希望前夠像半導體產業一般成為本世紀革命性的技術。
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　　微細加工不僅在電子業扮演重要角色，在其他領域應用也相當廣泛，例如：資訊/通訊機器在設計製作上，幾乎都朝著微小化進行，如此才能提昇隨身攜帶的方便性；在醫療產業中，因為微型機械的運用，慢慢地讓手術不用開刀也可以進行；而從事保養維護工作的產業，因為使用檢查、修補用的微型機械，使得人沒辦法進入的場所或配管內無法到達的地方，也可以自動進行某程度的檢查和修補；其他產業也陸續使用各種微型機械，而全球相關單位更為將來能夠達到實用化，努力研究開發

====章節目錄====
第一章 緒論…1-1
　　第一節 研究動機…1-1
　　第二節 研究範圍…1-2
　　第三節 研究方法及架構…1-3
　　第四節 研究時程及限制…1-4
第二章 微細加工技術簡介…2-1
　　第一節 微細加工技術的定義…2-1
　　　　一、 微機電系統之定義…2-1
　　　　二、 微細加工技術之定義…2-1
　　第二節 微細加工技術的分類…2-3
　　第三節 常用之微細加工技術簡介…2-6
　　　　一、 矽基微加工技術…2-6
　　　　二、 LIGA製程…2-8
　　　　三、 微機械加工技術…2-9
　　第四節 微細加工應用領域…2-14
第三章 微細加工技術應用市場分析…3-1
　　第一節 全球應用市場規模…3-1
　　第二節 微細加工技術應用現況與展望…3-5
　　　　一、 機械及設備領域…3-5
　　　　二、 資訊及電子領域…3-16
　　　　三、 光電通訊領域…3-20
　　　　四、 醫療生物領域…3-24
　　第三節 應用產品發展歷程…3-29
第四章 微細加工技術發展分析…4-1
　　第一節 國外微細加工技術之發展…4-1
　　　　一、 歐洲微系統技術…4-1
　　　　二、 美國微機電系統技術…4-10
　　　　三、 日本的微機械…4-14
　　　　四、 其他國家發展現況…4-17
　　第二節 歐美日微技術發展比較…4-19
　　　　一、 背景及推動方式…4-19
　　　　二、 主要技術及應用領域…4-20
　　第三節 國內微細加工技術之發展…4-22
　　　　一、 微機電系統技術發展歷程…4-22
　　　　二、 主要研發單位…4-23
　　　　三、 主要廠商…4-30
　　　　四、 我國微機電發展策略…4-32
　　第四節 專利分析…4-34
第五章 金屬微細加工技術之應用潛力…5-1
　　第一節 金屬微細加工技術之應用性…5-1
　　第二節 Milli-Structure概念…5-2
　　第三節 金屬微細加工技術發展現況與展望…5-4
　　　　一、 微放電加工…5-4
　　　　二、 微雷射加工…5-10
　　　　三、 微切削加工…5-16
　　　　四、 微成形加工…5-19
　　　　五、 技術關連性…5-24
　　第四節 應用潛力分析…5-25
　　　　一、 微馬達…5-25
　　　　二、 雷射二極體…5-29
　　第五節 金屬微成形技術相關研究單位介紹…5-31
　　　　一、 日本…5-31
　　　　二、 德國…5-36
　　　　三、 韓國…5-36
　　　　四、 台灣…5-37
第六章 我國發展微細加工技術之機會點及優劣勢分析…6-1
　　第一節 我國發展微細加工技術之機會點…6-1
　　第二節 我國發展微細加工技術之優勢…6-4
　　第三節 我國發展微細加工技術之劣勢…6-5
　　第四節 我國發展微細加工技術之威脅…6-6
第七章 結論與建議…7-1
　　第一節 結論…7-1
　　第二節 建議…7-6

====表目錄====
表 2-1 微製造技術分類…2-5
表 2-2 各種微細加工技術比較…2-5
表 3-1 微型工廠市場效果…3-15
表 4-1 歐洲Europractice的微系統製造群聚…4-4
表 4-2 各種微細加工技術研究之學者…4-24
表 4-3 我國微機電系統技術主要研發機構…4-25
表 4-4 研發單位微機械加工設備比較…4-27
表 4-5 我國研發單位在微機電系統技術成果…4-28
表 4-6 美國公告微細加工專利主要競爭公司分析…4-37
表 4-7 美國公告微細加工專利被引證次數分析…4-38
表 5-1 Milli-Stracture結構與微機電產品之比較…5-4
表 5-2 微放電加工與雕模放電加工之特性比較…5-5
表 5-3 微放電加工及WEDG之比較…5-7
表 5-4 雷射分類及其特性…5-11
表 5-5 微雷射加工技術要素說明…5-13
表 5-6 各種微雷射加工特性比較…5-15
表 5-7 微切削加工概況說明…5-18
表 5-8 各種微成形加工技術比較…5-23
表 5-9 日本金屬微加工相關廠商及研究範疇…5-33
表 7-1 主要國家微細加工技術發展比較…7-2

====圖目錄====
圖 1-1 微細加工技術專題研究範圍…1-3
圖 1-2 微細加工技術之研究方法與架構…1-4
圖 1-3 微細加工在金屬相關產業之應用之研究時程…1-5
圖 2-1 微機電系統尺寸概念圖…2-2
圖 2-2 微細加工技術分類…2-4
圖 2-3 體型微加工技術示意圖…2-7
圖 2-4 面型微加工犧牲層技術示意圖…2-7
圖 2-5 LIGA技術示意圖…2-8
圖 2-6 WEDG加工示意圖…2-10
圖 2-7 直徑6mm之電極…2-10
圖 2-8 微雷射加工技術應用分類…2-12
圖 2-9 微切削加工之加工實例…2-13
圖 2-10 微金屬成形件實例…2-14
圖 2-11 微細加工技術之應用領域…2-15
圖 3-1 全球微系統產品市場預測…3-1
圖 3-2 微機電應用市場趨勢…3-2
圖 3-3 微機電應用產品佔有率變化…3-3
圖 3-4 M3應用產品市場規模預測…3-3
圖 3-5 全球微系統技術產值預測…3-4
圖 3-6 2000及2005年微系統之應用領域分佈…3-4
圖 3-7 震動馬達的基本原理…3-8
圖 3-8 空壓震動馬達結構…3-8
圖 3-9 桌上型微型工廠概念圖…3-9
圖 3-10 MEL所提供的微型工廠照片…3-10
圖 3-11 微車床之外觀…3-11
圖 3-12 微車床之切削加工實例…3-11
圖 3-13 微銑床…3-12
圖 3-14 微沖壓機…3-13
圖 3-15 微型工廠製作之滾珠軸承零組件…3-13
圖 3-16 可攜式微型工廠…3-14
圖 3-17 HDD結構圖…3-17
圖 3-18 HDD磁頭控制用靜電微致動器概念圖…3-18
圖 3-19 CD/DVD互換用2焦點透鏡…3-19
圖 3-20 MEMS在消費性產品之市場規模趨勢…3-20
圖 3-21 矽質光平台示意圖…3-22
圖 3-22 朗訊科技之反射鏡面光開關…3-23
圖 3-23 MEMS在光通訊產業之市場規模趨勢…3-24
圖 3-24 前端可自在彎曲的內視鏡…3-26
圖 3-25 可動式內視鏡軟管概念圖…3-27
圖 3-26 日本試作之可動式內視鏡軟管…3-27
圖 3-27 MEMS在醫療產品之市場規模趨勢…3-29
圖 3-28 微機電應用產品發展歷程…3-30
圖 4-1 歐洲微系統技術發展歷程…4-2
圖 4-2 歐盟微系統組織架構…4-3
圖 4-3 STEAG microParts公司之量產流程…4-7
圖 4-4 德國微系統技術應用發展藍圖…4-8
圖 4-5 NEXUS對RF-MEMS規劃之發展藍圖…4-9
圖 4-6 NEXUS對MOEMS規劃之發展藍圖…4-10
圖 4-7 美國微機電系統技術發展歷程…4-11
圖 4-8 日本微機械技術發展歷程…4-15
圖 4-9 日本微機械技術計畫參與廠商…4-16
圖 4-10 日本微機械技術應用發展藍圖…4-17
圖 4-11 歐美日微技術發展背景及推動方式比較…4-19
圖 4-12 歐美日微加工技術比較…4-20
圖 4-13 歐美日微技術應用領域比較…4-21
圖 4-14 我國微機電系統技術發展歷程…4-22
圖 4-15 我國研發單位微細加工相關設備比較…4-27
圖 4-16 我國微機電系統發展策略…4-33
圖 4-17 我國具有發展潛力之微機電產品…4-33
圖 4-18 1996-2010年我國微機電系統核心技術及載具發展歷程…4-34
圖 4-19 歷年美國公告微細加工專利件數分析…4-35
圖 4-20 歷年美國公告微細加工專利重要國家分析…4-36
圖 4-21 美國公告微細加工專利國際專利分類分析…4-39
圖 5-1 微加工尺寸開發系統…5-2
圖 5-2 Milli-Stracture概念圖…5-3
圖 5-3 微放電加工技術應用關連圖…5-6
圖 5-4 微放電加工應用實例…5-8
圖 5-5 雷射應用領域魚骨圖…5-12
圖 5-6 微雷射加工在金屬材料之應用實例…5-13
圖 5-7 微切削加工製作之面具…5-17
圖 5-8 金屬微軋延加工例…5-21
圖 5-9 微沖斷加工示意圖…5-22
圖 5-10 金屬微加工技術關連圖…5-24
圖 5-11 全球小型馬達需求量預測…5-26
圖 5-12 我國精密小馬達產銷統計…5-27
圖 5-13 Penny Motor的分解爆炸圖…5-28
圖 5-14 全球雷射二極體產值變化趨勢…5-29
圖 5-15 雷射二極體TO-CAN封裝結構圖…5-31
圖 5-16 日本金屬微細加工技術主要研究單位…5-32
圖 5-17 群馬大學開發之微齒輪組…5-33
圖 5-18 微小材料拉伸試驗機…5-34
圖 5-19 生產同軸內孔穴之完整加工製程與開發實例…5-34
圖 5-20 德國金屬微細加工技術主要研究單位…5-36
圖 5-21 金屬中心金屬精微成形系統技術計畫之構思方向…5-38
圖 5-22 精微金屬成形系統技術研發策略…5-38
圖 6-1 微機電產品生命週期…6-1
圖 6-2 我國發展微細加工技術之SWOT分析…6-7
圖 7-1 全球微技術應用趨勢及市場規模…7-3