FPD工廠之節能與環保對策

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摘要
在半導體與平面顯示器的大型工廠中,正在推動環保晶圓廠化,以徹底管理設備與裝置的能源使用量。另一方面,目前現有的工廠也一一找出能源浪費的地方並實施對策,大幅節省能源。此外,節能對策特別重視費用的節省效果,因此,相當重視低價的產品以及系統。
半導體與FPD工廠降低排放溫室效果氣體的對策,主要有:抑制能源使用量以及導入溫室氣體的除害系統。在最新型的工廠中,除了實施設備與裝置的最佳化工程之外,同時還縝密地模擬能源使用量,盡力減少能源的浪費。
例如,聚集了SHARP第十代(10G)LCD工廠以及薄膜太陽能電池廠的「GREENFRONT 堺市廠」,就將19家相關企業集中到一處,簡約作業製程,彼此共有材料以及公共設施,控制....


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