半導體與FPD工廠的節能與環保3R

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摘要
為了減少造成溫室效應氣體的產生,各半導體與FPD工廠莫不實施各種不同的方法,在空調系統中導入自然通風系統,成功減少能源的使用。另外,也有工廠針對排放廢水以及熱氣再利用等,成功降低成本並控制二氧化碳的排放量。以降低環境負擔以及極力避免浪費能源為目標的工廠綠色環保化(Green Fab)也逐漸加快腳步....


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