全球電子產業用氫氟酸市場
作者：葉仰哲
定價：免費
出版單位：工研院IEK
出版日期：2010/11/28
出版類型：產業評析
所屬領域：電子零組件及材料
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摘要
在傳統的化學工業中，氫氟酸用於多種含氟有機物的合成，比如Teflon(聚四氟乙烯），還有CFC和HCFC等類的冷煤。由於氫氟酸溶解氧化物的能力，它在鋁和鈾的提純中起著重要作用。氫氟酸在煉油廠中它可以用作異丁烷和丁烷的烷基化反應的催化劑，除去不銹鋼表面的含氧雜質的“浸酸”過程中也會用到氫氟酸。在半導體產業與TFT-LCD產業中，高濃度氫氟酸主要用於元件之清洗、矽及矽化合物的蝕刻以及TFT-LCD玻璃之研磨減薄清洗。稀釋100倍的氫氟酸可以清洗晶圓，而稀釋10倍的氫氟酸可用來除去附著於石英管的矽，此部份佔氫氟酸需求之54%；氫氟酸可與硝酸混合以蝕刻鎢（W）、鉭（Ta）等金屬，或與NH4形成....