半導體ArF光阻世代來臨
作者:江愛群
定價:免費
出版單位:工研院IEK
出版日期:2011/02/25
出版類型:產業評析
所屬領域:電子零組件及材料
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摘要
在半導體製程微型化發展的趨勢下,高階製程比重逐年提升,帶動DUV光阻的市場與出貨量逐年增加,尤其是在65/40奈米製程的需求快速增長,使得ArF光阻出貨量呈現高成長的趨勢,再加上其平均價格較高,總體市場值已於2010年超越KrF光阻市場值,且領先幅度將逐年增加,成為光阻市場最重要的產品項目。
2010年全球ArF光阻出貨量估計為9.6萬加侖,較2009年成長33.8%,展望2011、2012年,在高階製程需求成長帶動下,對於ArF的需求量亦將大幅成長,出貨量預估分別可達到12.4萬加侖、15.6萬加侖,與KrF光阻的差距將加速拉近。
而在市場值的部分,2010年全球ArF光阻市場估計為....