半導體用光阻劑之發展概況

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摘要
隨著科技發展,人們對半導體產品依賴日深,其中晶圓製造所需關鍵材料之一的光阻劑,於晶圓生產中更是重中之重。今日,半導體產業已步入5G世代,為配合產品微型化與功能多樣化的要求,使晶片整合的需求與日俱增,製程端也不斷透過縮短曝光波長以提高解析度,達到 IC 電路更高密度的佈局來減小產品體積,光阻劑更是微影製程中的關鍵角色,因此,光阻劑的技術研發將隨著先進製程的持續演進而不斷進化中。


內文標題/圖標題
一、光阻劑材料種類
二、全球光阻劑市場分析
三、國際大廠發展概況
四、結論

圖1 IC製作流程
圖2 全球光阻劑需求數量預估
圖3 2020年全球光阻劑銷售量佔比預測

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