手機板選單
進階搜尋
0
結帳
0
購物車
0
預購車
我的書架
關於ITIS
經濟部產業技術司
電子資訊
半導體
電子零組件及材料
通訊
資訊硬體
資訊軟體
光電顯示
生技醫藥
生技製藥
醫療器材
醫療科技
化學民生
石化高分子
紡織
食品
特用化學品
機械金屬
鋼鐵
金屬製品
運輸工具
非鐵金屬
機械設備
新興能源
新興能源
整體產經
整體產業研究
科技法律研析
產業前瞻研析
產業技術白皮書
智財訴訟研析
產業資料庫
進出口資料庫
台灣進出口
中國進出口
香港進出口
美國進出口
韓國進出口
廠商資料庫
產銷存
總經數據庫
景氣對策訊號
消費者物價指數CPI
GDP綜合指標
臺灣採購經理人指數
外銷訂單統計
全球前三大
智網小辭典
總經數據庫
景氣對策訊號
加入會員
會員登入
Hi~歡迎來到ITIS智網
若有任何問題,可使用下方檢索互動介面找解答,或是寫信到客服信箱。
請選擇
加入會員
會員帳號管理
儲值點數管理
購物流程
訂購電子檔
訂購實體書
付款方式
資料引用
取消/訂閱電子報
週一~週五
09:00~12:30
13:30~18:00
首頁
電子資訊
半導體
我國奈米電子技術發展機會與策略
作者:
游李興
定價:
免費
出版單位:
工研院IEK電子分項
出版日期:
2003/10/31
出版類型:
產業報告
所屬領域:
半導體
瀏覽次數:
720
加入最愛
字級
字級
內容摘要
本專題將奈米電子技術分為CMOS微縮技術及新式元件,CMOS微縮技術又可分為傳統微縮關鍵技術及新型CMOS技術。傳統微縮關鍵技術如奈米微影技術、銅導線製程、Low-k材料、及High-k閘極介電層;新型CMOS技術如矽絕緣層(SOI)、應變矽(Strained Si)、及雙閘極結構;奈米尺度下量子效應所運用技術如自旋電子元件、單電子元件、奈米探管元件、及奈米探管場發射顯示器。
目錄
====章節目錄====
第一章 緒論…1-1
第一節 研究緣起…1-1
第二節 研究範圍…1-3
第三節 研究方法…1-6
一、初級資料…1-6
二、次級資料…1-6
第四節 研究架構…1-7
第二章 傳統微縮關鍵技術發展…2-1
第一節 奈米微影技術…2-1
一、背景說明…2-1
二、技術趨勢…2-2
三、技術關鍵問題…2-4
四、先進廠商動態及發展現況…2-7
五、技術發展評析…2-9
第二節 銅導線製程技術…2-11
一、背景說明…2-11
二、技術趨勢…2-13
三、技術關鍵問題…2-16
四、先進廠商動態及發展現況…2-18
五、技術發展評析…2-19
第三節 Low-k 材料…2-23
一、背景說明…2-23
二、技術趨勢…2-23
三、技術關鍵問題…2-27
四、先進廠商動態及發展現況…2-29
五、技術發展評析…2-30
第四節 High-k 閘極介電層…2-33
一、背景說明…2-33
二、技術趨勢…2-34
三、技術關鍵問題…2-37
四、先進廠商動態及發展現況…2-40
五、技術發展評析…2-41
第三章 新型結構技術發展…3-1
第一節 絕緣層上矽(Silicon on Insulator;SOI) …3-1
一、背景說明…3-1
二、技術趨勢…3-3
三、技術關鍵問題…3-7
四、先進廠商動態及發展現況…3-7
五、技術發展評析…3-11
第二節 應變矽…3-14
一、背景說明…3-14
二、技術趨勢…3-15
三、技術關鍵問題…3-17
四、先進廠商動態及發展現況…3-18
五、技術發展評析…3-20
第三節 雙閘極結構…3-22
一、背景說明…3-22
二、技術趨勢…3-23
三、技術關鍵問題…3-28
四、先進廠商動態及發展現況…3-28
五、技術發展評析…3-29
第四章 新式元件技術發展…4-1
第一節 自旋電子元件…4-1
一、背景說明…4-1
二、技術趨勢…4-2
三、技術關鍵問題…4-5
四、先進廠商動態及發展現況…4-7
五、技術發展評析…4-8
第二節 單電子元件…4-10
一、背景說明…4-10
二、技術趨勢…4-11
三、技術關鍵問題…4-15
四、先進廠商動態及發展現況…4-17
五、技術發展評析…4-18
第三節 奈米碳管元件…4-20
一、背景說明…4-20
二、技術趨勢…4-22
三、技術關鍵問題…4-24
四、先進廠商動態及發展現況…4-25
五、技術發展評析…4-28
第五章 全球奈米電子技術研發投資現況…5-1
第一節 美國…5-1
一、NNI…5-1
二、EUV LLC …5-3
第二節 日本…5-5
一、STARC…5-5
二、EUVA …5-6
三、Nplan-21 …5-8
第三節 其它國家…5-10
一、歐盟…5-10
二、南韓…5-10
三、中國大陸…5-11
第四節 我國…5-13
一、奈米國家型科技計畫(奈米電子技術方面) ..…5-13
二、奈米電子共同實驗室使用者聯盟…5-14
三、65 奈米研發聯盟…5-15
第六章 我國奈米電子技術發展現況…6-1
第一節 產業界…6-1
一、台積電(TSMC) …6-1
二、聯電(UMC) …6-4
第二節 研發機構…6-8
一、工研院電子所(Electronics Research & Service Organization;ERSO) …6-8
二、國家奈米元件實驗室(National Nano DeviceLaboratories;NDL)…6-11
三、中央研究院…6-16
第三節 學術界…6-17
第七章 我國的機會與策略…7-1
第一節 奈米微影技術…7-2
一、193 奈米微影技術…7-2
二、193 奈米微影濕浸式技術…7-2
三、157 奈米微影技術…7-3
四、EUV…7-4
五、EPL…7-5
第二節 銅導線製程技術…7-6
第三節 低介電材料技術…7-7
第四節 High-k 閘極介電層…7-9
第五節 絕緣層上矽…7-10
第六節 應變矽…7-11
第七節 雙閘極結構…7-12
第八節 自旋電子元件…7-13
一、MRAM …7-13
二、自旋電晶體…7-13
第九節 單電子元件…7-15
第十節 奈米碳管元件…7-16
第八章 結論與建議…8-1
第一節 結論…8-1
一、產業界多採用聯盟的方式以分散研發投資風險…8-1
二、新材料的導入將會增加製程整合的困難度…8-1
三、不同材料與技術的選擇將會對半導體廠商造成極大影響…8-2
四、研發新式元件以延續摩爾定律…8-2
第二節 建議…8-4
一、由研發機構或學術界進行評估Low-k 及High-k等新材料…8-4
二、開發MRAM 利基型產品以創造新市場….…8-4
三、奈米微影技術採用技術快速跟隨者的策略...…8-5
四、研發機構和學術界參與新式元件前瞻技術研發…8-6
====表目錄====
表2-1 ITRS 微影技術預測…2-4
表2-2 Intel 微影技術導入計畫與ITRS 技術預測的比較…2-9
表2-3 鋁導線與銅導線的物理特性比較…2-13
表2-4 各種沈積銅薄膜技術比較…2-15
表2-5 原子之間的極化值…2-24
表2-6 ITRS 閘極介電層EOT 預測…2-36
表2-7 高介電係數閘極介層之相關研究結果…2-44
表3-1 我國矽晶圓材料市場價格…3-12
表3-2 2000 年晶圓成本…3-21
表5-1 NNI 各機構之研發領域…5-2
表5-2 NNI 研究預算(2003~2004 年) …5-2
表6-1 台積電微影技術藍圖…6-1
表6-2 台積電銅導線製程技術藍圖…6-2
表6-3 台積電低介電材料技術藍圖…6-2
表6-4 台積電High-k 閘極介電層技術藍圖…6-3
表6-5 台積電絕緣層上矽技術藍圖…6-3
表6-6 UMC 微影技術藍圖…6-5
表6-7 UMC 低介電材料技術藍圖…6-6
表6-8 UMC High-k 閘極介電層技術藍圖…6-6
表6-9 UMC 絕緣層上矽技術藍圖…6-7
表6-10 我國學術界奈米微影技術研究計畫…6-17
表6-11 我國學術界銅導線製程技術研究計畫…6-17
表6-12 我國學術界低介電材料研究計畫…6-18
表6-13 我國學術界High-k 閘極介電層研究計畫…6-19
表6-14 我國學術界絕緣層上矽研究計畫…6-20
表6-15 我國學術界應變矽研究計畫…6-20
表6-16 我國學術界自旋電子元件研究計畫…6-21
表6-17 我國學術界單電子元件研究計畫…6-21
表6-18 我國學術界單電子元件研究計畫…6-22
表7-1 奈米電子技術的商業化時程…7-1
====圖目錄====
圖1-1 特徵尺寸定義…1-4
圖1-2 奈米電子技術研究範圍…1-5
圖1-3 本專題研究架構…1-7
圖2-1 光學微影技術流程圖…2-2
圖2-2 EUV 機台示意圖…2-5
圖2-3 EUV 光罩結構圖…2-6
圖2-4 EPL 回散射效應…2-7
圖2-5 不同線寬世代之積體電路延遲時間圖…2-12
圖2-6 銅製程與低介電材料為0.13 微米製程所帶來的利益…2-12
圖2-7 傳統鋁導線與銅導線鑲入式製程流程的比較…2-14
圖2-8 銅連線雙鑲入式(Dual Damascene)製程…2-14
圖2-9 電鍍銅系統示意圖…2-16
圖2-10 半導體技術Hype Cycle 圖…2-17
圖2-11 全球銅製程導入半導體廠商狀況…2-19
圖2-12 半導體晶圓尺寸變遷…2-20
圖2-13 邏輯元件製程步驟趨勢…2-20
圖2-14 缺陷密度學習週期圖…2-22
圖2-15 加入空氣成為多孔隙材料的介電值變化…2-25
圖2-16 低介電材質的特性要求…2-27
圖2-17 銅導線之雙鑲入結構圖…2-28
圖2-18 氧化層厚度與閘極長度關係圖…2-34
圖2-19 MOS 元件結構(介電常數愈高者,介電層愈厚) …..…2-36
圖2-20 閘極介電材料技術發展藍圖…2-36
圖2-21 高介電材料的臨界電壓與閘極電壓圖…2-38
圖2-22 存在矽晶與高介電層二氧化鉿之間的低介電界面層…..…2-39
圖3-1 寄生雙載子效應…3-2
圖3-2 高能離子穿透Bulk 和SOI 元件造成離子化的情形…3-2
圖3-3 建立在磊晶矽底材的CMOS 電晶體…3-3
圖3-4 採渠溝隔離設計的CMOS 元件…3-4
圖3-5 SOI 元件結構…3-5
圖3-6 Bulk Si、PD SOI 與FD SOI 結構示意圖…3-5
圖3-7 SOI 表現於輸出特性的糾結效應…3-6
圖3-8 半導體廠商導入SOI 元件量產時程…3-8
圖3-9 Soitec 營收狀況…3-10
圖3-10 Ibis 營收狀況…3-10
圖3-11 SOI 晶圓需求量預測…3-11
圖3-12 ITRS 未來Emerging Technology 預測藍圖…3-15
圖3-13 應變矽晶格結構…3-16
圖3-14 國際上Strained Si 技術發展趨勢…3-17
圖3-15 國際上Strained Si 技術發展趨勢…3-22
圖3-16 雙閘極電晶體結構…3-24
圖3-17 FinFET 之結構立體圖…3-26
圖3-18 FinFET 元件家族…3-27
圖3-19 三閘極電晶體結構圖…3-28
圖4-1 Fe/Cr 巨磁阻多層膜之磁阻…4-3
圖4-2 差異性自旋散射示意圖…4-3
圖4-3 穿隧式磁阻效應示意圖…4-4
圖4-4 MRAM 儲存機制示意圖…4-5
圖4-5 SET 元件結構示意圖…4-11
圖4-6 SET 電流的特性圖…4-12
圖4-7 SET 的能階及電子穿隧…4-13
圖4-8 SWNT 與MWNT 結構示意圖…4-21
圖4-9 SWNT 不同的幾何結構…4-22
圖4-10 奈米碳管場效電晶體元件…4-24
圖4-11 SWNT 兩端加固定電壓Burn-out,留下半導性的CNT .....…4-26
圖4-12 具有分離式閘極的CNT-FET 元件上視圖…4-27
圖4-13 沿著電場方向成長CNT …4-28
圖5-1 EUV LLC 研究開發體制…5-3
圖5-2 EUV LLC 研究開發時程…5-4
圖5-3 EUVA 研發時程…5-7
圖5-4 EUV 微影系統市場值…5-7
圖5-5 奈米國家型科技計畫內容架構…5-13
章節檔案下載
第一章 緒論
7 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第二章 傳統微縮關鍵技術發展
44 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第三章 新型結構技術發展
30 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第四章 新式元件技術發展
29 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第五章 全球奈米電子技術研發投資現況
16 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第六章 我國奈米電子技術發展現況
22 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第七章 我國的機會與策略
17 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
第八章 結論與建議
6 頁 / 0 元/點
下載
立即下載
分享至 :
上一則
2003/10/31
智慧型手持裝置發展現況與未來趨...
下一則
2003/10/31
從IC設計看EDA發展之歷程與...
熱門點閱
2023年細胞及基因治療產業回顧
2024美國經濟展望
半導體製程技術演進與國際大廠競爭態勢
原油製造化學品現況與趨勢
2024年第一季我國通訊產業回顧與展望
AI人形機器人與AI工廠對全球製造業的革命性影響
2024年第一季我國半導體產業回顧與展望
國際生技製藥產業藥品製造之減碳工具/技術應用掃描
2024年第一季我國平面顯示器產業回顧與展望
2024年第一季我國電子零組件產業回顧與展望
推薦閱讀
2018/10/1
2018/2019產業技術白皮書
2016/11/9
伴同式診斷於藥物開發之發展模式及商機探討
2016/7/6
2016顯示器產業年鑑
2017/9/29
2017/2018產業技術白皮書
2020/7/23
2020電子零組件暨顯示器產業年鑑
×
服務說明
為協助業者更有效率的掌握產業動態,ITIS智網提供「每日產業重點新聞」電子報服務, 提供內容包括總體經濟、資訊電子、生技醫藥、機械金屬、民生化學等範疇, 只要申請註冊成為ITIS智網會員,即可免費訂閱本項服務。 且為貼近ITIS智網服務定位,本項服務也主要篩選以國內外產業議題、金融財經等新聞為主,因此在此需求前提下, 即優先選擇台灣主要兩大財經專業報紙《經濟日報》與《工商時報》為新聞來源, 並與所屬報系網路新聞服務機構(中時電子報、聯合新聞網)以付費方式取得新聞標題合法授權使用。
帳號
密碼
記住我的帳號
忘記帳號
忘記密碼
登入
還不是會員?
立即註冊
忘記密碼
親愛的會員您好 , 請填妥下列的訊息! 系統會自動寄送密碼到您的信箱中 !
您的帳號
電子信箱
忘記帳號
親愛的會員您好 , 請填妥下列的訊息!
系統將會寄送您的智網帳號到您的電子信箱 !
電子信箱