MESE 目前美、日、德等先進工業國家都積極投入研發並保護此項前瞻核心製程技術。在國內因應我國推動亞太製造中心的政策，正結合半導體技術和精密加工技術，配合同步輻射技術和新材料、新元件、新模組技術，朝向積體化、低成本、高效率化智慧化、可量產化的目標，建立微系統前瞻製程技術，即時開創出另一新興產業，並提昇現有相關產業的製造能力及產品競爭力。

因為 MEMS 可廣泛應用在其他如 3C 電子(資訊/通訊/消費性)、工業生產、生醫保健、環保工安、國防工業、農林水產、太空航空…等產業，因此被視為下世代主要的
核心製造技術。

微系統技術不論在「取代型(既有產品)」或「創造型(全新產品)」都有極多的成功應用實例，因此微系統技術被視為本世紀主要的核心製造技術，先進國家都積極投入研發並保護此項前瞻核心製造技術。

===章節目錄===

第一章　緒論 1-1
　第一節　研究緣起 1-1
　　一、多重學門的MEMS 1-1
　　二、多重價值的MEMS 1-1
　　三、多重產業的MEMS 1-1
　　四、國家競爭的MEMS 1-3
　第二節　研究範圍 1-5
　第三節　研究架構 1-6
第二章　檢視各國MEMS發展 2-1
　第一節　引言 2-1
　第二節　美國MEMS發展 2-2
　　一、美國MEMS定義及取向 2-2
　　二、美國MEMS研發歷程 2-2
　　三、美國MEMS經費贊助 2-3
　　四、美國MEMS企業間的活動 2-6
　　五、美國MEMS最新動向 2-7
　　六、歐洲NEXUS對美國MEMS發展的觀察 2-9
　第三節　歐洲MEMS發展 2-18
　　一、歐洲對MEMS的定義 2-18
　　二、歐盟(EU)對MST的推廣 2-19
　　三、歐洲NEXUS & Europractice 的推廣 2-20
　　四、德國MST發展 2-26
　　五、法國MST發展 2-37
　　六、荷蘭MST發展 2-43
　　七、瑞士MST發展 2-46
　　八、義大利MST發展 2-51
　　九、英國MST發展 2-53
　　十、比利時MST發展 2-55
　　十一、歐洲其他國家MST發展 2-56
　第四節　亞洲MEMS發展 2-59
　　一、日本MEMS發展 2-59
　　二、韓國MEMS發展 2-74
　　三、中國大陸MEMS發展 2-77
　　四、澳大利亞MEMS發展 2-83
　第五節　結語 2-86
　　一、各國發展MEMS的共通模式 2-86
　　二、檢視美國MEMS發展 2-86
　　三、從歐洲的眼光看美國MEMS發展 2-87
　　四、檢視歐洲MEMS發展 2-88
　　五、檢視亞洲MEMS發展 2-89
　　六、比較各國MEMS特色 2-91
　　七、全球MEMS產業及產值預估 2-94
第三章　檢視我國MEMS發展 3-1
　第一節　我國MEMS發展 3-1
　　一、我國MEMS發展歷程 3-1
　　二、台南科學園區內設置『微電子精密機械』專業區 3-6
　第二節　北區MEMS研究中心 3-8
　　一、發展目標及理念 3-8
　　二、環境建置 3-9
　　三、研教與產學規劃 3-11
　　四、北區MEMS研究中心MEMS-CAD 3-12
　　五、MEMS-CAD的設計模擬 3-16
　　六、MEMS-CAD的驗證分析 3-17
　　七、北區MEMS研究中心的MEMS-CAD商用軟體 3-18
　　八、北區MEMS研究中心MEMS-CAD的系統設計室 3-19
　　九、北區MEMS研究中心MEMS-CAD的具體成果 3-20
　第三節　中區MEMS研究中心 3-22
　　一、中區地區各研究單位微機電 3-22
　　二、中區微機電中心之學術界服務項目 3-23
　　三、任務區分層次及其作業流程 3-24
　第四節　南區MEMS研究中心 3-25
　　一、南區MEMS研究中心三年成果 3-25
　　二、Bio-MEMS有四篇重要論文發表 3-25
　　三、未來三年的計畫及其近期目標 3-32
　第五節　結語 3-35
　　一、國科會積極推動北、中、南三個微機電中心 3-35
　　二、台灣MEMS廠商發展方向的同質性太高 3-35
　　三、台灣MEMS廠商動作比日本快?！ 3-36
　　四、比較我國與各國MEMS現況 3-37
　　五、我國MEMS發展落後先進國家近10年?！ 3-38
第四章　我國MEMS的機會與策略 4-1
　第一節　引言 4-1
　第二節　MEMS研發管理的諸多面向 4-2
　　一、台灣MEMS科專計畫 4-2
　　二、MEMS從研究邁向發展上的挑戰 4-3
　　三、結語 4-6
　第三節　發展我國MEMS產業群聚 4-8
　　一、引言 4-8
　　二、大陸IC產業群聚 4-8
　　三、建議台灣MEMS產業 4-9
　　四、佈局MEMS產業應強化創新法規制度 4-9
　　五、設立MEMS產業群聚可行性 4-10
　第四節　從2001年的全球微機電高峰會議談我國MEMS的發展 4-12
　　一、微機電科技已快速滲透到人類的各種生活當中 4-12
　　二、網際網路與知識經濟下的MEMS 4-12
　　三、學校的商業運作模式 4-13
　　四、我國與會心得與建議 4-13
　第五節　我國MEMS發展模式 4-16
　　一、我國MEMS推動構想 4-16
　　二、我國MEMS與奈米科技接軌 4-19
　　三、我國MEMS需要進行商學或企管…等跨科系整合 4-20
　第六節　我國MEMS推動策略 4-22
　　一、SRB決議發展的重點 4-22
　　二、我國MEMS核心技術建構規畫 4-23
　　三、推動策略 4-23
　第七節　我國MEMS推動效益 4-26
　　一、台灣產業發展展望 4-26
　　二、我國發展MEMS產業的SWOT分析 4-27
　第八節　結語 4-29
第五章　結論 5-1
第六章　參考文獻 6-1



===圖目錄===
圖1-1 MEMS的技術及產業應用範疇 1-3
圖1-2 本專題研究架構 1-6
圖2-1 歐洲MST推廣架構 2-21
圖2-2 歐洲NEXUS組織及負責領域 2-26
圖2-3 德國微機電學院IMTEK鳥瞰圖 2-31
圖2-4 德國微機電舉院IMTEK中之超精密雷射加工機 2-32
圖2-5 德國微機電學院IMTEK之微機電陶瓷鑄造技術 2-33
圖2-6 德國微機電學院IMTEK之生物晶片 2-34
圖2-7 德國微機電學院IMTEK之微流體流速量測晶片 2-34
圖2-8 日本於小學(四年級之國語課程)中推廣MEMS教育 2-66
圖2-9 日本小學生對MEMS的想像──以MEMS技術預測地震 2-67
圖2-10 日本小學生對MEMS的想像──以MEMS技術檢測果實成熟度 2-68
圖2-11 日本小學生對MEMS的想像──以MEMS技術偵測礦脈並挖取礦藏 2-68
圖2-12 日本小學生對MEMS的想像──以MEMS技術去除戴奧辛(世紀之毒) 2-69
圖2-13 日本MMC透過NHK錄製MEMS專輯 2-71
圖2-14 日本微機電中心所出版之日本之微機電科技的書中精采抽頁 2-72
圖2-15 美國DARPA預估全球MEMS產值 2-94
圖3-1 北區MEMS研究中心設備與技術支援 3-13
圖3-2 北區MEMS研究中心技術發展規劃 3-14
圖3-3 MEMS-CAD設計模擬及驗證分析流程 3-18
圖3-4 北區MEMS研究中心CAD分析範例 3-21
圖3-5 國科會南區微機電中心之Bio-MEMS發展的元件技術 3-34
圖4-1 我國MEMS研究與奈米科技逐漸接軌 4-17
圖4-2 我國微機電系統教育典範 4-21
圖4-3 我國MEMS核心技術建構規畫 4-24
圖4-4 我國MEMS核心技術發展藍圖(2002~2006年) 4-24
圖4-5 我國MEMS極具潛力的產品 4-27



===表目錄===
表1-1 MEMS技術可應用的多重產業及其產品項目 1-2
表2-1 美國MEMS研發歷程 2-3
表2-2 美國MEMS經費贊助 2-5
表2-3 美國MEMS資金來源 2-10
表2-4 美國MEMS產品開發時程(舉例) 2-12
表2-5 美國MEMS發展調查表 2-15
表2-6 歐盟(EU)贊助的MST計劃 2-20
表2-7 歐洲NEXUS的MST計畫及內容 2-22
表2-8 歐洲Europractice的MST推廣 2-23
表2-9 歐洲Europractice的核心中心(Competence Centre)及其技術領域 2-23
表2-10 歐洲Europractice的MST製造群聚(MC) 2-24
表2-11 德國MST發展歷程 2-27
表2-12 歐洲德國MST相關計畫 2-30
表2-13 法國MST發展歷程 2-38
表2-14 法國LETI在Microtechnologies部門研發重點及其成果 2-40
表2-15 法國MST研究計劃 2-41
表2-16 法國MST相關集團及中心 2-42
表2-17 荷蘭MST發展內容 2-44
表2-18 荷蘭MST在學校／研究中心的相關研發項目 2-45
表2-19 荷蘭MST業界發展項目 2-45
表2-20 瑞士MST研發機構及內容 2-47
表2-21 瑞士MST發展歷程 2-48
表2-22 瑞士MST業界的應用領域 2-50
表2-23 義大利MST業界的應用領域 2-51
表2-24 義大利參與MST的學術單位 2-52
表2-25 義大利參與MST的研究單位 2-52
表2-26 義大利MST國家型計畫 2-53
表2-27 義大利MST廠商與產品 2-53
表2-28 英國MST技術應用 2-54
表2-29 比利時MST學校及研究中心的研發項目 2-55
表2-30 比利時MST業界的研發重點 2-56
表2-31 芬蘭MST主要研發機構及項目 2-57
表2-32 挪威MST主要研發機構及項目 2-58
表2-33 日本MEMS發展歷程 2-61
表2-34 日本MEMS發展的主事單位 2-62
表2-35 日本1991~2000年MITI(國家級)研究計畫 2-63
表2-36 日本1996年起NMTP(國家級)的研究計畫 2-64
表2-37 日本1991~2000年MITI (國家級)研究計畫參與廠商及研發項目 2-65
表2-38 韓國學術界MEMS研究領域 2-75
表2-39 韓國政府機構MEMS研究領域 2-76
表2-40 韓國產業界MEMS研究領域 2-76
表2-41 大陸MEMS發展概況 2-78
表2-42 大陸MEMS發展歷程 2-80
表2-43 澳大利亞MEMS共同研究中心核心研究計劃 2-84
表2-44 澳大利亞MEMS資源分配 2-85
表2-45 澳大利亞MEMS研究計畫分配 2-85
表2-46 澳大利亞MEMS研究領域分配 2-85
表2-47 比較美日歐MEMS背景、推展、成果及特性 2-92
表2-48 各地區微機電系統技術應用領域比較 2-93
表2-49 美國DARPA預估的全球MEMS產業 2-93
表3-1 我國MEMS發展歷程(1995~1999) 3-2
表3-2 北區微機電系統中心實驗室規劃製程設備及協同實驗室提供加工設備 3-9
表3-3 中區地區各研究單位微機電的關鍵技術 3-22
表3-4 台灣MEMS廠商 3-36
表4-1 經濟部科專研究計畫項目 4-2
表4-2 我國2001年微機電領域新投資一覽表 4-18
表4-3 我國發展MEMS的SWOT分析 4-28