摘要
真空幫浦為真空系統的心臟，主要功能為將特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度的真空。所謂真空幫浦，依最新經濟部工業產品分類(民國95年6月)產品碼(SIC Code)為2933130，而在中華民國商品標準分類中，分類碼(HS Code)為8414100000，其定義為係將真空狀態的低壓氣體壓縮成高壓後排出的機械。入口壓力一定為0～760Torr(㎜Hg)的真空狀態，而出口壓力一般為大氣壓力，亦可高於或低於大氣壓力。包括：機械式真空泵、液體噴射真空泵、蒸氣噴射真空泵、離子真空泵、冷凍真空泵等。真空幫浦依其抽氣型態的不同，可分為....