半導體製程中的AOI技術發展
作者：黃仲宏
定價：電子檔 300 元/點
出版單位：工研院產科國際所
出版日期：2024/12/12
出版類型：產業評析
所屬領域：機械設備
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摘要
隨著技術的持續進步和全球的數位化趨勢，半導體工業已成為產業的核心。從智慧手機到雲資料中心，再到汽車和各種物聯網設備，半導體技術都發揮著至關重要的作用。隨著製程技術節點的不斷縮小，對晶片的性能要求日益增加，這使得半導體製程中的高精度檢測技術變得關鍵。晶圓表面缺陷視覺檢測是AOI系統應用的重要領域之一，技術發展趨勢是軟體的視覺演算法(深度學習技術、3D視覺、高精度成像技術、機器視覺互聯互通)，AOI未來的核心技術將體現在軟體的視覺演算法上。
內文標題/圖標題/表標題
一、 半導體製程的檢測技術
二、 AOI技術的市場規模
三、 產業發展趨勢
四、 結語
圖1 AOI技術全球市場規模的統計與預估
表1 半導體製造過程中，主要使用的檢測技術和設備
表2 AOI在晶片製造領域常見的缺陷檢測項目