半導體產業為全球各國極為看重的關鍵戰略產業，更是我國經濟發展重要的核心產 業，在國際具有舉足輕重的地位。在嚴峻的國際競合環境下，唯有建立技術自主化的半導 體產業上中下游供應鏈生態圈，才能厚植我國半導體產業技術能量的深度與廣度。半導體 設備為影響半導體技術發展之關鍵產業，政府透過政策擴大支持半導體設備產業發展，依 循國家「六大核心戰略產業推動方案」發展計畫，與相關科研政策，加強國際設備供應鏈 在地化、推動先進半導體設備技術研發。經濟部產業技術司主責關鍵技術研發，鎖定先進 半導體、次微米感測晶片、下世代封裝製程技術相關之先進半導體關鍵模組開發及設備加 值共創技術。同時鏈結國際合作，加速技術創新發展，強化我國半導體設備產業之國際競 爭力，亦為我國半導體產業建立自主供應鏈之堅實後盾。