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電子用製程材料及化學品產業發展透析

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出版作者 張肇顯
出版單位 工研院IEK化材組
出版日期 2007/07/31
出版類型 產業報告
所屬領域 特用化學品
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摘要

半導體製程複雜度與元件功能的提昇,帶動電子材料技術的發展,也擴大電子用材料及化學品的市場規模,目前黃光製程、銅機械研磨液、介電材料均呈現突破性的進展,未來材料的發展的方向在於降低成本、高良率、更高精度與在地化的服務。在大尺吋面板市場蓬勃發展之下,平面顯示器材料與化學品市場大幅成長,台灣TFT-LCD的材料供應鏈體系也趨於完整,未來的發展重點將朝向大尺吋、高良率而低成本的生產方式。

目錄

====章節目錄====

第一章 半導體用材料及化學品概述 1-1

 第一節 黃光化學品 1-1

  一、光阻 1-1

  二、顯影劑 1-2

  三、去光阻劑 1-2

  四、底材 1-2

 第二節 化學機械研磨液 1-4

  一、氧化物研磨液 1-4

  二、金屬研磨液 1-5

 第三節 濕製程化學品 1-6

 第四節 介電常數材料 1-7

  一、低介電常數材料(Low k) 1-7

  二、高介電常數材料(High k) 1-7

第二章 半導體用材料及化學品產業發展現況與趨勢 2-1

 第一節 全球半導體用材料及化學品產業現況與市場預測 2-1

  一、光阻 2-1

  二、化學機械研磨液 2-4

  三、濕式化學品 2-8

  四、氣體 2-9

  五、介電常數材料 2-11

 第二節 我國半導體用材料及化學品產業現況與市場預測 2-15

  一、黃光化學品 2-15

  二、化學機械研磨液 2-18

  三、濕製程化學品 2-19

  四、介電常數材料 2-21

 第三節 全球半導體材料技術發展趨勢 2-23

  一、光阻劑 2-23

  二、化學機械研磨液 2-24

第三章 平面顯示器用材料及化學品概述 3-1

 第一節 黃光化學品 3-3

  一、光阻劑(Photoresist) 3-3

  二、顯影液(Developer) 3-4

  三、EBR(Edge Bead Remover) 3-5

  四、剝離液(Stripper) 3-5

 第二節 製程化學品 3-7

  一、清洗液 3-7

  二、蝕刻液 3-7

 第三節 其他材料及化學品 3-8

  一、彩色光阻 3-8

  二、黑色矩陣 3-9

  三、間隙物 3-10

  四、配向膜 3-10

  五、液晶 3-11

第四章 平面顯示器用材料與化學品產業發展現況與趨勢 4-1

 第一節 全球平面顯示器用材料與化學品產業現況與市場預測 4-1

  一、光阻 4-1

  二、彩色光阻 4-2

  三、黑色矩陣 4-2

  四、配向膜 4-3

  五、液晶 4-3

  六、間隔物 4-3

 第二節 我國平面顯示器用材料及化學品產業現況與市場預測 4-5

  一、光阻Array光阻及彩色光阻 4-5

  二、彩色光阻 4-6

  三、配向膜及液晶 4-7

 第三節 平面顯示器用材料及化學品技術發展趨勢 4-8

  一、光阻劑 4-8

  二、剝離液 4-8

  三、彩色光阻 4-9

  四、配向膜材料 4-10

  五、液晶 4-10

  六、間隙物材料 4-11

第五章 結論 5-1

====圖目錄====

圖2-1  全球半導體用光阻市場成長趨勢 2-2

圖2-2  全球半導體用光阻市場出貨量預估(依產品類型) 2-3

圖2-3  全球半導體用光阻出貨地區分布預測 2-3

圖2-4  全球化學機械研磨液市場規模及成長趨勢 2-5

圖2-5  化學機械研磨液的成長走勢圖 2-6

圖2-6  全球化學機械研磨液主要廠商市占率分布 2-7

圖2-7  2006年化學機械研磨液主要廠商市占率分佈(依產品別) 2-8

圖2-8  全球半導體濕式化學品市場規模 2-9

圖2-9  全球半導體用氣體市場規模預測 2-10

圖2-10 全球low-k材料市場趨勢 2-11

圖2-11 全球High k材料市場趨勢 2-12

圖2-12 全球Low-k材料廠商市場占有率分佈 2-13

圖2-13 我國IC用化學機械研磨液來源國分析 2-19

圖2-14 半導體微影曝光方式與光阻劑技術發展藍圖 2-24

圖3-1  TFT-LCD Array段製程及使用的化學品 3-2

圖3-2  正型&負型光阻微影過程 3-3

圖3-3  彩色濾光片結構示意圖 3-9

圖4-1  彩色光阻塗佈製程發展趨勢 4-10

====表目錄====

表1-1  半導體製程所使用之黃光化學品種類 1-3

表1-2  CMP研磨液的添加劑與製造商 1-5

表1-3  半導體製程RCA-Clean所應用之化學品種類 1-6

表1-4  半導體製程所使用之蝕刻酸種類 1-6

表2-1  全球半導體用材料及化學品市場預測 2-1

表2-2  2006年全球DUV光阻供應商銷售量及市占率 2-4

表2-3  2006年High k主要廠商市占率 2-14

表2-4  我國半導體材料市場與成長率 2-15

表2-5  我國光阻市場與成長率 2-16

表2-6  國內IC光阻各產品別用量狀況 2-16

表2-7  台灣IC光阻供應商動態 2-17

表2-8  國內IC光阻供應商 2-17

表2-9  我國化學機械研磨液市場與成長率 2-18

表2-10 我國IC用濕製程化學品市場與成長率 2-20

表2-11 台灣半導體用化學品廠商生產品項 2-20

表2-12 Low k材料供應鏈關係 2-22

表2-13 High k材料供應鏈關係 2-22

表3-1  平面顯示器面板產業範疇(依技術別區分) 3-1

表4-1  全球LCD材料及化學品市場規模預估 4-1

表4-2  我國LCD用材料及化學品市場規模預估 4-5

表4-3  國內/國外主要光阻劑供應商 4-6

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第一章 半導體用材料及化學品概述
8
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第二章 半導體用材料及化學品產業發展現況與趨勢
25
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第三章 平面顯示器用材料及化學品概述
11
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第四章 平面顯示器用材料與化學品產業發展現況與趨勢
11
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第五章 結論
3
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