本報告主要是探討製程安全監控系統的技術內涵、研發趨勢、應用方向，研究方法為：整理製程安全監控系統近年來在國內外重要研發方向，邀請國內專家學者和業者，利用問卷和座談會方式了解對於製程安全監控系統的技術發展和應用市場，進而作出製程安全監控系統的技術Roadmap。
本研究研議製程安全監控系統產業發展的幾重要方向為：
1.由本計畫的研究結果發現國內應用製程安全監控系統技術的領域和廠商甚多，以應用產業類別系統，石化業是最普遍應用的產業，其餘在電力工業、化學工業、食品工業、水處理業等都廣泛應用。
2.國內製造業大量外移結果，製程監控系統公司在2001年營業額平均下降30%，2003年則逐漸回升20%，因此傳統製造業的出走造成監控系統廠商很大的衝擊。
3.國內製造業轉型為高科技業為主，造就了一些原來較熟悉高科技業之廠商。因此這幾年對晶圓廠的廠務系統、製造執行系統(MES)、電腦整合製造系統(CIM)工廠自動化系統、知識管理系統….等相關技術提供。
4.由於國內製造業者近年主要的外移地區是中國大陸，因此服務製造業的製程安全監控系統業者也都紛紛在大陸設連絡處或設立分公司，這也是業者在2003、2004年營運展望成長的主因。
5.在技術發展方向方面的重要趨勢
(1)失誤源診斷和即時製程異常偵測技術，減少製程異常和失誤是最重要的技術發展趨勢。
(2)利用線上即時分析大量數據進行品質控制和配方管理技術對於半導體業和石化業都是最近技術發展方向。
(3)網路技術普遍應用和其方便性，使得即時數據擷取技術和遠距監控技術快速成長。
(4)警報管理最適化技術最近一、二年來無論在石化業和半導體業都成為重要的研發議題。
(5)半導體業經常需改變配方或製程條件，製程不穩定性常成為產品異常的原因，因此非穩態的變換管理研究也是國內業者和學者認為需要突破的地方。
(6)其餘製程分析技術、行動化監控技術、緊急應變資訊管理系統、製程設計最適化技術都是專家認為是未來技術發展趨勢。
6.製程安全監控系統技術在產業應用領域的應用趨勢
(1)製程安全監控系統技術在傳統石化工業已有相當績效，未來的應用趨勢將以半導體工業、精密化學工業、光電工業為主要應用。
(2)目前各半導體和光電廠都投入人力進行研發，主要和機台廠商、工研院、大學合作等，研發方向以APC、FDC、wafer-based-control為方向，已經有初期研發成果。
(3)國外製程安全監控系統大廠也都在國內半導體業行銷，主要提供業者進行測試，現階段都仍在測試階段，未大量採用。
(4)少量多樣化的生產方式需要更精密的控制技術，未來製程安全監控系統技術在精密化工業的應用將逐漸普遍。
(5)應用製程安全監控系統技術於水處理控制系統、焚化爐製程控制、環境品質監測，提升環保製程安全和減少環保糾紛事件。
(6)生技產業是全球最具潛力新興產業，專家希望未來能應用製程安全監控系統技術，提升製程安全和生產效率。
(7)廠區安全監控則是包括外物入侵監測、空氣品質監視、人員進出管理等結合生產排程、電腦主機系統、監視器、辨識器之整合安全管理技術，可以減少人力並且達到遠距監控之管理，是製程監控系統的一項重要應用。