====章節目錄====
第一章 緒 論…1-1
第一節 研究動機與目的…1-1
第二節 研究範圍…1-3
第三節 研究方法…1-4
第四節 研究架構…1-5
第五節 研究程序…1-6
第二章 產業發展模式分析…2-1
第一節 垂直交易關係探討…2-1
第二節 LCD設備產業交易模式…2-14
第三節 LCD設備產業分類群組…2-18
第三章 技術面分析…3-1
第一節 光阻塗布設備…3-1
第二節 TFT-LCD清洗設備…3-31
第三節 LCD濕式蝕刻設備…3-46
第四節 光阻剝離設備…3-54
第四章 需求面分析…4-1
第一節 全球大型TFT LCD產業發展動向…4-1
第二節 全球中、小型TFT LCD產業發展動向…4-11
第三節 台灣大型TFT LCD產業發展動向…4-15
第四節 台灣中、小尺吋TFT LCD產業發展動向…4-22
第五節 國內面板廠對設備國產化需求與作法…4-29
第五章 TFT設備產業供給面分析…5-1
第一節 全球LCD設備廠商銷售與市場產值分析…5-1
第二節 國產設備產值與廠商發展概況…5-4
第三節 TFT主要製程設備市場分析…5-33
第六章 結論與建議…6-1
第一節 結論…6-1
第二節 建議…6-10
====表目錄====
表2-1 垂直整合或市場交易相關考量因素…2-13
表2-2 交易商品、交易頻次與統治形式的關係…2-15
表2-3 LCD個別設備市場比重與市場集中度…2-19
表2-4 LCD設備群組分類…2-21
表3-1 Spin Coater、Slit & Spin Coater、Slit Coater比較表…3-3
表3-2 專利功效基本分類表…3-5
表3-3 TFT-LCD生產流程說明…3-32
表3-4 不同清洗步驟的污染物洗淨度重要性…3-33
表3-5 TFT-LCD清洗流程與方法…3-38
表3-6 清洗目的與方法…3-39
表3-7 去除particle的技術與特色介紹…3-39
表3-8 LTS-INC設備規格…3-41
表3-9 清洗機台LCD Panel Cleaner (HC-IV series)…3-42
表3-10 DECO清洗機台型號與特色…3-43
表3-11 HDC洗淨設備特色…3-44
表3-12 濕式蝕刻及乾式蝕刻之比較表…3-48
表3-13 常見薄膜蝕刻液與蝕刻速率表…3-50
表3-14 光阻劑之基本成分…3-55
表4-1 台灣大型TFT LCD廠商一覽…4-20
表4-2 台灣TFT LCD發展現況…4-27
表5-1 2004年全球LCD生產設備製造廠商銷售排名…5-3
表5-2 2004年國內TFT廠設備投資與設備自給率…5-4
表5-3 2004年均豪產品營收比重…5-7
表5-4 2004年均豪產品營收產值…5-9
表5-5 2004年東捷科技營收比重…5-14
表5-6 2004年盟立產品營收比重…5-16
表5-7 2003、2004年志聖產品營收比重…5-18
表5-8 2004年亞智產品營收比重…5-19
表5-9 2004年沛鑫產品營收比重…5-21
表5-10 2003、2004年中華聯合產品營收比重…5-22
表5-11 2004年高僑自動化產品營業比重…5-23
表5-12 2004年敘豐主要產品營業比重…5-25
表5-13 揚博主要生產設備…5-27
表5-14 2004年揚博產品營業比重…5-27
表5-15 2004年群錄產品營業比重…5-30
表5-16 2004年廣運產品營業比重…5-31
表6-1 TFT LCD設備產業創新需求要素…6-13
表6-2 TFT電極圖案設備之創新需求要素…6-17
表6-3 租稅優惠相關內容…6-22
表6-4 LCD設備國產自製率定義與計算基礎…6-27
表6-5 設備分工及發展重點…6-32
====圖目錄====
圖1-1 研究架構…1-5
圖1-2 研究程序…1-6
圖3-1 LCD玻璃基板尺寸圖…3-2
圖3-2 塗佈機型式示意圖…3-2
圖3-3 塗佈機發展趨勢示意圖…3-2
圖3-4 Slit & Spin Coater製程原理…3-3
圖3-5 Slit Coater製程原理…3-4
圖3-6 TORAY塗佈頭設計裝置示意圖…3-7
圖3-7 HIRATA塗佈頭設計裝置示意圖…3-7
圖3-8 雙層塗佈裝置示意圖…3-8
圖3-9 塗佈頭設計改良示意圖…3-9
圖3-10 塗佈頭不同設計對鍍膜平坦度之影響…3-9
圖3-11 塗料供給/監控系統(CHUGAI RO)示意圖1…3-10
圖3-12 塗料供給/監控系統(CHUGAI RO)示意圖2…3-11
圖3-13 塗料供給/監控系統(HIRATA)示意圖…3-12
圖3-14 塗料供給/監控系統(TORAY)示意圖1…3-13
圖3-15 塗料供給/監控系統(TORAY)示意圖2…3-14
圖3-16 塗料供給/監控系統(TORAY)示意圖3…3-15
圖3-17 刮刀式清潔裝置示意圖1…3-16
圖3-18 刮刀式清潔裝置示意圖2…3-17
圖3-19 刮刀式清潔裝置示意圖3…3-17
圖3-20 滾輪式雙清潔裝置示意圖…3-18
圖3-21 噴氣式清潔裝置示意圖1…3-19
圖3-22 噴氣式清潔裝置示意圖2…3-20
圖3-23 樞紐式清潔裝置示意圖…3-21
圖3-24 內部潤滑式清潔裝置示意圖…3-22
圖3-25 塗佈起點/終點供料控制示意圖…3-23
圖3-26 基板快速定位裝置示意圖1…3-24
圖3-27 基板快速定位裝置示意圖2…3-25
圖3-28 基板快速定位裝置示意圖3…3-25
圖3-29 塗佈頭拆裝/維護裝置示意圖1…3-26
圖3-30 塗佈頭拆裝/維護裝置示意圖2…3-27
圖3-31 塗佈頭拆裝/維護裝置示意圖3…3-28
圖3-32 塗佈頭拆裝/維護裝置示意圖4…3-29
圖3-33 Flip & Face down塗佈裝置示意圖…3-30
圖3-34 TFT-LCD清洗設備機構組成與流程範例…3-40
圖3-35 受入前洗淨設備(LTS-INC系列)…3-41
圖3-36 LCD基板洗淨設備(HC-IV series)…3-42
圖3-37 素玻璃基板及化學槽後清洗設備…3-43
圖3-38 LCD基板洗淨設備(High Density Cleaner, HDC)…3-44
圖3-39 TFT-LCD構造剖面圖…3-46
圖3-40 LCD平面顯示器之製程…3-47
圖3-41 TFT-LCD製程流程示意圖…3-47
圖3-42 TFT-LCD濕式蝕刻設備流程示意圖…3-51
圖3-43 基板大型化對濕式設備設計因素之影響…3-53
圖3-44 Pourbaix Diagram of Aluminium in Water…3-57
圖3-45 MEA、DMSO去光阻機制…3-58
圖3-46 stripper機台構造…3-59
圖4-1 LCD面板市場規模推估…4-2
圖4-2 全球大尺吋TFT LCD各應用市場出貨規模…4-3
圖4-3 全球大尺吋TFT LCD各尺吋分佈…4-5
圖4-4 2004年全球中、小型TFT產值分布…4-11
圖4-5 2003~2007年全球中、小尺吋TFT LCD全球產值預估…4-12
圖4-6 2004年台灣大型TFT LCD出貨(依尺吋別)…4-17
圖4-7 2004年第四季台灣大型面板內外銷比重…4-18
圖4-8 2004年台灣中、小型TFT LCD產品產值…4-23
圖4-9 國內面板廠設備國產化意見彙整…4-31
圖5-1 全球LCD設備市場規模…5-2
圖5-2 國內LCD設備供應概況…5-6
圖5-3 全球濺鍍設備市場規模…5-34
圖5-4 濺鍍設備主要廠商市場佔有率…5-34
圖5-5 全球CVD設備市場規模…5-37
圖5-6 CVD設備主要廠商市場佔有率…5-38
圖5-7 全球光阻塗布設備市場規模…5-41
圖5-8 光阻塗布設備主要廠商市場佔有率…5-42
圖5-9 全球顯影設備市場規模…5-42
圖5-10 顯影設備主要廠商市場佔有率…5-43
圖5-11 全球投影式曝光設備市場規模…5-46
圖5-12 投影式曝光設備主要廠商市場佔有率…5-46
圖5-13 全球近接式設備市場規模…5-47
圖5-14 近接式曝光設備主要廠商市場佔有率…5-47
圖5-15 全球洗淨設備市場規模…5-50
圖5-16 洗淨設備主要廠商市場佔有率…5-50
圖5-17 全球濕式蝕刻設備市場規模…5-51
圖5-18 濕式蝕刻設備主要廠商市場佔有率…5-51
圖5-19 全球乾式蝕刻設備市場規模…5-55
圖5-20 乾式蝕刻設備主要廠商市場佔有率…5-55
圖5-21 全球光阻剝離設備市場規模…5-56
圖5-22 光阻剝離設備主要廠商市場佔有率…5-56
圖5-23 全球配向膜塗布設備市場規模…5-59
圖5-24 配向膜塗布設備主要廠商市場佔有率…5-59
圖5-25 全球配向設備市場規模…5-63
圖5-26 配向設備主要廠商市場佔有率…5-63
圖5-27 全球膠框印刷設備市場規模…5-65
圖5-28 膠框印刷設備主要廠商市場佔有率…5-65
圖5-29 全球組合對位設備市場規模…5-68
圖5-30 組合對位設備主要廠商市場佔有率…5-69
圖5-31 全球液晶注入設備市場規模…5-71
圖5-32 液晶注入設備主要廠商市場佔有率…5-71
圖5-33 全球ODF設備市場規模…5-72
圖5-34 ODF設備主要廠商市場佔有率…5-72
圖5-35 全球熱處理設備市場規模…5-75
圖5-36 熱處理設備主要廠商市場佔有率…5-76
圖5-37 全球燒成爐設備市場規模…5-76
圖5-38 燒成爐設備主要廠商市場佔有率…5-77
圖5-39 全球切割/裂片設備市場規模…5-79
圖5-40 切割/裂片設備主要廠商市場佔有率…5-80
圖5-41 全球TAB設備市場規模…5-83
圖5-42 TAB設備主要廠商市場佔有率…5-84
圖5-43 全球COG設備市場規模…5-84
圖5-44 COG設備主要廠商市場佔有率…5-85
圖5-45 全球玻璃基板檢查設備市場規模…5-86
圖5-46 玻璃基板檢查設備主要廠商市場佔有率…5-87
圖5-47 全球彩色濾光片檢查設備市場規模…5-87
圖5-48 彩色濾光片檢查設備主要廠商市場佔有率…5-88
圖5-49 全球陣列檢查設備市場規模…5-90
圖5-50 陣列檢查設備主要廠商市場佔有率…5-90
圖5-51 全球液晶點燈檢查設備市場規模…5-93
圖5-52 液晶點燈檢查設備主要廠商市場佔有率…5-93
圖5-53 全球修補設備市場規模…5-95
圖5-54 修補設備主要廠商市場佔有率…5-95
圖6-1 國內LCD設備產業交易模式…6-11
圖6-2 國內LCD設備優先發展群組…6-12
圖6-3 台灣TFT LCD/CF電極圖案設備產業組合定位…6-15
圖6-4 機械所角色定位…6-33
圖6-5 機械所重點發展技術與應用領域…6-34
圖6-6 機械所FPD設備發展架構…6-35