積體電路(IC)產業近年來蓬勃發展，帶動國內生產設備市場大幅成長，自1997年起我國已成為全球第三大需求國家，1998年雖受亞洲金融風暴影響，以及IC產業呈現循
環性景氣低迷，國內晶圓廠設備投資趨緩，但生產能力與再投資能力已超越受創嚴重之日本及韓國IC產業，因此設備市場仍具成長潛力。
本研究內容分成五個章節：第一章為緒論，內容包括研究動機與目的，以及研究方法與架構；第二章為半導體前段設備市場概況，研究範圍涵括國內外晶圓廠投資動向、前段設備市場
供需現況；第三章為1998年全球半導體前段設備產業發展動向，內容有半導體前段設備成本及性能議題探討、購併與策略聯盟持續加溫、新製程與材料之應用、先進國家半導體設
備產業發展歷程之介紹；第四章則針對國內目前發展之晶圓清洗設備及蝕刻設備，作國內外市場分析、技術現況與趨勢探討，並對國內設備使用現況作進一步解析；第五章則是半導體
前段設備市場預測、產業發展策略建議等，內容為國內外市場預測分析、國內發展前段設備之環境與競爭態勢，最後提出本研究對建立本土設備產業之建議。
國內半導體前段設備之市場規模與成長性，不僅造就海外供應商之營運佳績，亦吸引許多本土業者投入相關設備開發，就國內之客觀環境而言，市場特性為吸引力大但進入障礙高。因
此短期而言，國產設備業者仍必須持續投注研發資源，藉由各種與使用者溝通管道，瞭解設備需求方向，為成為正式供應商作萬全準備，而屬於萌芽期之前段設備產業，亟須政府之扶
植與推動。半導體產業變化一日千里，居於重要角色之生產設備發展當然未曾停歇，惟有對未來趨勢充分了解並作準備，才能排除環境之各種不利條件，取得市場商機。