ＩＣ產業被譽為高科技產業的象徵，而ＩＣ製程設備之良窳更是攸關其產品品質。由於ＩＣ產業發展迅速，國內生產ＩＣ的晶圓廠預計將於公元2000年增建20座。因此，ＩＣ製
程設備之需求亦與日遽增。目前國內ＩＣ製程設備幾仰賴進口，自製比例仍不及1%。職是之故，積極拓展製程設備之本土化便成為發展ＩＣ產業之重要利基。但由於ＩＣ製程設備之
技術層面相當高，目前國內尚無能力發展單一製程之設備，故現階段便是要將關鍵性零組件本土化。而閥與MFC因為具有:「 汰換率高，所佔金額龐大」、 「目前國內產業所累
積的技術基礎，較好導入」等優點，因此閥與MFC提供了我國未來發產IC製程設備的一個良好的選擇。
本研究從ＩＣ製程設備之角度切入，深入剖析，以期達到下列目標。
1.瞭解ＩＣ製程設備關鍵零組件之液體質流控制器(Liquid MFC)與閥(Valves)等產品之國內供給現況、市場需求。
2.找出國內研究機構與業者切入ＩＣ設備關鍵零組件之利基。
3.提出我國ＩＣ設備關鍵零件之競爭力分析、市場拓展策略等具體建議。