氣體與化學藥液一樣，在半導體製程是不可或缺的高純度流體原料，雖然氣體佔整個成本的比重不高，但氣體的純度及品質，直接影響到產品的良率及品質，特別是朝向下世代65/45nm的技術發展，愈是顯得重要。...
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