2004年全球IC光阻市場產值達到9.4億美元，較2003年成長19.9%，其中主要的產值成長因素有二，一是在景氣復甦與晶片銷售成長的驅動下，全球多座12吋晶圓廠持續興建與擴充，使得光阻的整體使用量同步上揚11.6%，二是成長因素來自主流製程提昇，其中高階的248-nm &193-nm DUV光阻，共增加了30.5%使用量，達36萬加侖，高階的DUV光阻價格平均大約是低階的UV光阻3倍，因此使用量...
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