在基板上塗佈光阻時，光阻劑容易在基板邊緣堆積、殘留，一旦置之不理持續加工時，則光阻會在基板移動過程中剝落，導致生產線的污染。因此，必須要使用剝離液來剝離邊緣殘留之光阻劑，這類剝離液便稱為EBR，洗邊液EBR(Edge Bead Remover)，EBR的要求性能不外乎為：(a)必須是安全性高的溶劑、(b)必須是用量少且對光阻劑的溶解力高、(c)必須是揮發速度快的溶劑。...
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