為因應未來檢測設備對於新製程使用與精密度要求的提升,陣列自動光學檢測(Automated Optical Inspection; AOI)設備已被廣泛用在目前TFT-LCD相關製程中,可用來取代傳統速率慢、人工成本高、檢測良率低、缺乏可重複性的人工視覺檢測設備(Manual Vision Inspection, MVI)。...
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