在半導體製程中所使用的各種化學品耗材，可以分為矽晶圓、特殊氣體、普通氣體、微影阻劑、溼式化學、化學研磨漿、濺鍍靶材以及低介電物質為大宗。根據SEMI調查，2003年半導體化學品耗材的總市值達394.1億美元，各部分的產值比例如圖一所示，表一為近三年化學品耗材之市場規模。...
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