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電子業清洗製程清潔生產調查報告評析

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出版作者 吳橞淂、賴慶智
出版單位 工研院能環所
出版日期 2005/08/12
出版類型 產業評析
所屬領域 電子零組件及材料
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摘要

由於電子業之製程良率受到原料基材(Substrate)的清潔性所影響,若基材沾著汙染物時,不僅可能影響基材外觀(如PC板),甚至會造成基材的電氣性能不良或可靠度(Reliability)的下降,嚴重時,更會使得基材後續加工成品的不良率大幅提高,所以各式基材汙染物去除的清洗製程在電子業製程中十分重要。...

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