2004年半導體設備市場一掃之前陰霾，在此波半導體設備市場復甦中，後端封裝設備將扮演先鋒角色，至於前端的晶圓製造設備，也會有需求逐漸浮現，在整個半導體設備供應鏈之中，薄膜沈積設備的需求量大且產值僅次於蝕刻設備，佔前段製程設備的21%，如圖1所示。由一座12吋晶圓廠的建置來分析，月產能約為3萬片的生產線，需購置的沈積設備為CVD設備28台PVD設備26台其平均單價為4-5百萬美元，因此全球也有許多製...
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