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全球低介電常數材料市場趨勢

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出版作者 何巧玲
出版單位 工研院IEK化材組
出版日期 2005/10/14
出版類型 產業評析
所屬領域 電子零組件及材料
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摘要

低介電材料的供應商主要以歐美大廠為主,化學氣相沉積法的應用目前以應用材料(Applied Material)及Novellus兩家為最大供應商,應用材料的主要客戶為台積電、AMD、NEC與Motorola等等;德儀、IBM、特許、富士通、三星及聯電則採用Novellus的CORAL;Intel採用ASMI的Aurora。在旋佈玻璃法方面,目前主要有Dow Chemical的產品SiLK、Dow C...

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