2004年全球MEMS市場規模約70億美元,銷售量約23.7億顆。銷售量中以微流體元件最多,佔整體的67.9%,主要導因於家庭市場所需的印表機及照片列印用的噴墨頭。慣性感測器、壓力感測器及RF MEMS分別佔12.6%、8.1%及2.5%,光MEMS約佔0.2%,In-Stat/MDR預估至2009年微流體MEMS銷售量將降至53.3%、RF MEMS將成長至25.5%、慣性感測器、壓力感測器及光...
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