陣列檢測（TFT Array Test）主要著重於Active Area的電氣特性，用以發現製造過程所產生的缺陷，【圖1】為典型的Array缺陷。Array Test屬於一種功能性測試，它同時會分析TFT中，每一個子像素(Sub-Pixel)的效能。Array檢測設備主要是用來測試線路的開、短路、漏電晶體或漏電容，不僅如此，而且會依缺陷的嚴重性進行分類，此分類之主要目的是為了之後進行修補(Repa...
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