全球半導體高階設備的市場長期被外商所壟斷，除了少數後段封測設備、周邊設備與PCB製程設備外，台灣廠商多半是作為外商的代理、代工與組裝單位。不同於高階製程，3D IC技術節點多半在μm等級，符合台灣設備的開發能力，因此在3D IC技術發展的帶動下，台灣本土設備廠商有機會打破長期被外商所壟斷的局面。且台灣有完整的半導體上中下游垂直供應鏈，很適合發展3D IC技術產品，有利國內半導體產業串連與技術扎根。
一、前言
二、3D IC關鍵製程設備發展
三、國內產業切入3D IC設備之商機
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