全球半導體微影製程發展走向

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出版作者 李冠樺
出版單位 工研院IEK電子分項
出版日期 2005/05/05
出版類型 產業評析
所屬領域 半導體
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摘要

ITRS(International Technlogy Roadmap for Semiconductors;全球半導體技術藍圖)自從在2003年推出新版技術藍圖後,迄今已歷經了近一年的時間;在這一年中,針對當初所揭示的技術進程,其中或是有更明確的技術走向亦或突破性進展,甚至於難以克服的技術障礙,而須重新修正原先藍圖內的規劃。該工作小組於2004年12月在東京所舉行的半導體技術藍圖發展會議中,針...

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