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電漿技術在Array新興製程設備之應用(一)

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出版作者 黃仲龍
出版單位 工研院IEK系統能源組
出版日期 2004/10/26
出版類型 產業評析
所屬領域 光電顯示
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摘要

由於面對平面顯示器未來市場之需求,國內顯示器面板生產廠商為降低產品生產成本,紛紛擴建次世代之面板生產廠房,每年投資於生產設備超過1000億。然而目前國內能自主提供之設備僅為自動化與清洗相關設備,整機自主率僅為5%。反觀南韓設備業者在政府與顯示器廠商的協助之下,其本土設備自主率目前已達40~50%,已可提供如電漿輔助化學氣相沉積PECVD(周星科技)、乾式蝕刻設備(ADP Engineering)與...

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