光阻是一種暫時塗佈在晶圓上的感光材料，和底片感光材料相似，受照射後產生化學反應，可將光罩上之光學圖案轉印到晶圓表面上。光阻主要可分為正型、負型或雙型光阻，亦可分為非化學放大型或化學放大型光阻，其原理如表一所示。...
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