中國製造2025規劃中的半導體設備與智慧製造技術路徑圖

中國國務院在2015年5月8日正式發布「中國製造2025」規劃內容，作為促進中國製造業轉型升級與實現跨越式發展的整體指導策略。中國的主要目標是從目前的製造大國邁向能與德國、美國抗衡的製造強國。而「中國製造2025」則是實現此目標的第一個十年行動綱領。

為推動實施「中國製造2025」政策，中國政府在2015年8月特別成立「國家製造强國建設戰略諮詢委員會」，並由副總理馬凱擔任國家製造強國建設領導小組組長。2015年10月，國家製造强國建設戰略諮詢委員會發布「中國製造2025重點領域技術路線圖」綠皮書。在這份最新的政策文件中，針對新一代信息(資訊)技術產業、高檔(階)數控機床(工具機)和機器人、航空航天裝備、海洋工程裝備及高技術船舶、先進軌道交通裝備、節能與新能源汽車、電力裝備、農業裝備、新材料、生物醫藥及高性能醫療器械等重點領域，提出包括需求、發展目標、發展重點、戰略支撐與保障等項目的技術發展路徑圖。

本文主要針對此份文件中與半導體生產設備及智慧製造相關技術領域的內容進行說明。說明內容主要參照綠皮書，但部分用詞已修改成台灣業界用語。