真空幫浦為真空系統的心臟，主要功能為將特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度的真空。所謂真空幫浦，依最新經濟部工業產品分類(民國95年6月)產品碼(SIC Code)為2933130，而在中華民國商品標準分類中，分類碼(HS Code)為8414100000，其定義為係將真空狀態的低壓氣體壓縮成高壓後排出的機械。入口壓力一定為0～760Torr(㎜Hg)的真空狀態，而出口壓力一般為大氣壓力，亦可高於或低於大氣壓力。包括：機械式真空泵、液體噴射真空泵、蒸氣噴射真空泵、離子真空泵、冷凍真空泵等。
真空幫浦依其抽氣型態的不同，可分為排氣式及儲氣式兩大類。第一類：排氣式真空幫浦，其作用為將低氣壓氣體排送至高氣壓的地方。如果只利用一個幫浦抽氣，通常多將系統中的氣體直接排出至系統外的大氣中。如果應用....
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