微機電在各國的名稱及定義有所差異，在歐洲稱之為微系統(Microsystem, MST)，意指「一個智慧型微小化的系統，其包含感測、處理且/或致動的功能，它們包今兩個或多個電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質整合到一個單一或多晶片上。」；在美國則稱之為微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)，代表「整合的微元件或系統包含利用IC相容批次加工...
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