類鑽碳(Diamond-Like Carbon；DLC)膜是在1971年，由德國的Aisenberg與Chabot利用離子束沈積法首次製備出了具有鑽石特徵的非晶態碳膜。DLC同時具有構成鑽石的sp3鍵結與構成石墨的sp2鍵結的非晶質構造，具有和天然鑽石相近的性質。其硬度高、絕緣、耐磨耗、熱導性佳，並且有高可見光區穿透率與極佳的抗輻射能力，又因其結構上碳與氫緊密的結合，形成緻密的堆積表面平滑，因此無...
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