日本廠商間相互合作共同開發新製程設備，並期望增加前後段製程設備自動化系統的整合目標。在微影設備方面，包括Nikon、Fujitsu等7家日本半導體相關業者將合作開發新一代步進機，用於將製程技術推升至20奈米線距，這些業者集合近40家半導體設備及材料業者....
一、日本半導體設備關鍵零組件廠商現況
二、日本半導體設備產業之未來展望
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