相對於真空蒸鍍方式,普林斯頓大學與Universal Display(UDC)提出一種稱為「OVPD(Organic Vapor Phase Deposition)小分子面板成膜法。MOCVD設備大廠德國AIXTRON公司獲得技術授權,並已於2001年底將支援150×150mm2基板設備交給UDC試產線。此設備是在加熱減壓下之反應爐內,利用載氣(carrier gas)流動精確地沈積薄膜。對真空蒸...
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