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DNP在奈米壓印技術的發展近況

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字數 1376
頁數 3
出版作者 何世湧
出版單位 工研院IEK
出版日期 2015/11/19
出版類型 產業評析
所屬領域 電子零組件及材料
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摘要

DNP在早期就著手發展小型化半導體線路與設備的奈米壓印技術,因此能夠研發製作出以奈米等級為基礎的半導體線路圖案模板。該公司半導體製程建立20奈米等級的奈米壓印黃光技術(NIL)生產系統,由於NIL技術的製程設備架構較簡單、排除複雜的光學生產設備、可望大幅減少成本,因此受到各界矚目並寄望成為次世代黃光技術。

內文標題/圖標題

一、前言

二、DNP的奈米壓印技術發展背景

三、DNP的奈米壓印模板的特點與未來發展目標

四、IEKView

圖一、光罩廠商市佔率分析

圖二、奈米壓印黃光製程技術示意圖

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