扶植本土半導體3D IC設備產業的責任不能只依靠企業各自的努力，政府與法人機構須扮演更積極的角色，就如同當初扶植國內的晶圓代工產業一般，官方組織需投入更多的資源與人力，與民間企業共同產生一套周延之發展策略後，再切實執行計畫，如此才有可能培育出世界級的半導體設備大廠。
一、前言
二、國內發展3D IC製程設備的主要議題
三、國內具發展潛力之3D IC製程設備
四、產業未來發展建議
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