金屬精微成形的起始源自於T. Maeda在1989年在JSTP會議所提出的超精微壓床機，該文件為第一篇精微金屬元件製造的文獻，當時壓床機的量產特性受到相當的重視。次(1990)年以後，次毫米(sub-millimeter)的金屬元件製造變得極為熱門，此乃因其可以應用於微系統技術(Micro System Technology；MST)及微機電系統(Micro Electro-Mechanical ...
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