2004年全球半導體用氣體市場達19.6億美元，較2003年18億美元成長8.16%。其中半導體工業用高純度氣體分為兩大類，一為大宗氣體，如N2、O2、Ar、H2、He….等使用量較大的氣體；一為特殊氣體，如SiH4、AsH3、PH3….等以鋼瓶供應的氣體。最大的供應商為Air Products、其次為Air Liquide、BOC、Nippon Sanso、Praxair等。...
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