2004年全球MEMS市場規模約70億美元,較2003年成長32%,銷售量約23.7億顆。這些營收中,成熟的感測器元件佔總營收的77%,包括噴墨頭、投影用微鏡、壓力感測器、加速度計和應用於汽車上的迴轉儀。MEMS的高成長主要來自於微流體MEMS(特別是噴墨頭)應用的增加,未來MEMS市場仍將保持強勁的成長,預期未來市場上較有突破性成長的為RF MEMS,它的量大,但平均單價低。另外,微麥克風也有強...
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