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新世代TFT-LCD製程設備/機臺潛藏之安全危害

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出版作者 林瑞玉
出版單位 工研院能環所
出版日期 2005/12/07
出版類型 產業評析
所屬領域 化學民生
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摘要

TFT-LCD是繼半導體產業後,成為我國高科技產業在21世紀中最主要的前瞻工業,為提升在國際市場的競爭力及產能,從小尺吋發展至現有的第6代,甚至7.5代,其因生產設備大型化、自動化,廠房挑高、化學品其氣體使用量變大等現況的改變,導致工廠安全衛生風險管理需求更甚於半導體廠。有鑑於國內5.5代以上光電廠持續的擴建,使得廠房潛藏了更多安全衛生之風險,若製程單元一旦發生防護失效或洩漏等情形,除了可能導致設...

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