製造TFT-LCD面板過程中,為提高良率與確保品質,會在製程中進行工程管理檢查與產品選別檢查。目前TFT-LCD使用的檢查手法主要分為光學檢查、電氣檢查以及目視檢查。光學檢查最為常見,係利用光學方式取得成品的表面狀態,以影像處理來檢出異物或圖案異常等。因屬非接觸式,故可在中間工程檢查半成品,且品種因應靈活性高,亦被導入Array、CF及Cell製程。電氣檢查以陣列測試器高速檢查TFT功能或周邊線路...
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