微機電系統(Microelectromechanical System, MEMS)是一種產品元件，其規格尺度多為微米(micro-)或是奈米(nano-)等級，凡是藉由技術將多種器材、零組件、甚或是多個系統結合在一起，並將之奈米化、微小化者，皆可稱為微機電系統。憑藉著體積極微小的優勢，MEMS元件所延伸出來的產品應用範圍不但包羅萬象，而且以市場角度看來也十分具有潛力商機。...
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