2004年全球致動器市場規模約33.6億美元，銷售量約18.3億顆， 2004~2009年複合年成長率約21.7%。在銷售值中微流體MEMS、光MEMS及RF MEMS分別佔46.9%、29.8%、1.8%，在銷售量中則微流體MEMS獨占鼇頭，佔了87.8%。...
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