微光機電系統的領域可以從1.微光學、2.微電子與3.微機械三個領域之間的關係來瞭解。.1 與2.的交集為光電領域( Opto Electronics)，1.與3.交集則為光機領域( Opto Mechanics)，而2.與3.交集則是微機電系統領域(MEMS)。而微光機電系統(MOEMS)領域就是三者交集，或稱為光學微機電( Optical MEMS)。微光電機系統主要的產品有投影顯示器、光掃描器...
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