TFT-LCD面板的曝光製程中，TFT Array部份的曝光製程是採用步進(Stepper) 及鏡面投影(Mirror Projection)方式，而彩色瀘光片(CF)之曝光設備則是採用近接(Proximity)方式。然而，最近在彩色瀘光片的製造上，也開始採用步進或鏡面投影設備。...
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