台積電為全球晶圓代工廠龍頭，為了對抗三星、英特爾等大廠，持續在台灣投資先進製程及擴建廠。2018年1月26日台積電公布在南部科學工業園區舉行晶圓十八廠第一期動土典禮，十八廠是台積電在台灣的第四座超大型十二吋晶圓廠，將生產5奈米製程，預計在2019年完工，並於2020年進入量產，這將是全球首家提供5奈米晶圓代工的廠商。此外，5奈米先進製程帶動設備的開發，在前段製程設備我國以設備代工為主，為國際設備大廠代工生產設備耗材、零組件、模組、備品等。後段製程設備中，台積電投入InFO製程，促使國內設備大廠相繼投入開發相關設備，如晶片取放、烘烤設備、濕式清洗、底部填膠、晶圓刻印及晶圓切割等設備，增進台灣半導體設備產業的國際競爭力。
一、5奈米廠發展進程
二、5奈米製程技術發展現況
三、我國半導體設備業商機
四、結論
表1 台積電5奈米廠發展進度
表2 台積電5奈未來主要研發計劃
表3 國內半導體設備廠商發展先進封裝設備現況
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