在微機電系統(MEMS)裡，微致動器(microactuator)的定義是將電能、熱能、化學能或光能量等轉換成機械能的作用的微元件，與傳統機械致動較不同的是通常微致動器的使用都會與其他物理現像結合，例如電訊號、光投影、微流體或感測上的應用，所以微致動器產品在應用上往往涵蓋兩三個技術分類，很難單純的以技術去界定出微致動器產品與其他的微流、微光或微感應等產品的分界，如下圖為MEMS產品研發例子。與微致...
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