中國大陸半導體IC產業在全球地位提升，IC市場需求也隨之增長，整體IC產值從2010年到2015年的年複合成長率為22.1%，顯示中國大陸IC產業正以驚人的速度發展。然而中國大陸半導體嚴重依賴進口， IC進出口總額幾乎與進口石油金額相當，這對中國大陸國家經濟和安全不利。因此中國大陸提出《國家積體電路產業發展推進綱要》及《中國製造2025》，旨在擺脫進口晶片依賴，發展國產晶片，高階設備創新。然而製程設備是IC產業的發展關鍵，與半導體製程技術息息相關，本文將探討剖析中國大陸半導體設備商之現況與趨勢。
一、中國大陸半導體產業概況
二、中國大陸半導體設備產業現況
三、結論
圖1 中國大陸半導體設備產值與自給率
表1 中國大陸主要半導體設備商與其發展設備
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